Ultlasound 1 / Kelvinox TLM
随時更新
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Ultlasound 4,5 / Kelvinox 400HA
随時更新
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Ultlasound 3 / Heliox TL
随時更新
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Ultlasound 6 / Circulation 3He
随時更新
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Ultlasound 2 / Singleshot 3He
随時更新
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Sputtering System
ZnO，Au，Tiなどの薄膜をスパッタで成膜できます。シリコン結晶の表面にZnO圧電素子を成膜するのに用いています。
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Conforcal Microscope
圧電素子の厚さを測定するのに用いています。厚みを5μmから200μmに制御することで超音波の発振周波数を変えて実験しています。
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Monoarc Furnace
希土類金属間化合物やカゴ状化合物などの多結晶を育成するのに用います。その多結晶を元に物質・材料研究機構のFZ炉やCZ炉を用いて単結晶を育成し、超音波実験を行っています。
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X-ray System / IP Laue / Diffraction
随時更新
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SQUID
1.5Kまでの磁気測定を行うことができる。
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